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Air filtration

高世代线湿制程用超高流量过滤滤芯

滤芯适用于高世代线液晶面板生产制造工艺，主要应用在高流量要求的工艺点，滤芯能够达到超过200L/min的流量要求，精致的外观结构能够充分满足设备对空间的要求，2m²以上的滤膜面积不仅具备高流量的性能，也具备高纳污量的性能，能够减少设备在使用过程中因更换滤芯而造成的设备停机次数。滤芯有多种膜材与多种精度可选。

电子制程水过滤滤芯

电子制程水过滤滤芯采用亲水性PES膜材，其非对称的膜结构使滤芯在保证过滤效率的同时，大大延长了滤芯的使用寿命，有效节省了系统的过滤成本。适合弱酸/碱和超纯水的过滤。

60T/H超大流量滤芯

60T/H超大流量滤芯是一款大直径，无中心杆，单开口，并且具有独特内进外出流向设计的滤芯。超大流量减少了滤芯和过滤器的使用量。可选用多种滤膜材质以适应不同应用要求。

低析出超高精度终端滤芯

低析出超高精度终端滤芯采用亲水性PES膜材，专为超纯水终端过滤设计，具有超低的离子析出，极快电阻率回复能力，大大减少在线冲洗时间。最高达到0.02μm的过滤精度，确保了终端超纯水出水水质。

光刻胶用终端绝对过滤滤芯

光刻胶用终端绝对过滤滤芯专为过滤光刻胶设计，采用高流速、高精度的PTFE或尼龙滤膜，结合低析出的HDPE骨架，溶出极低，适用于光刻胶的终端过滤，可选多种过滤精度：可选0.02µm-10µm 的多种过滤精度，满足不同过滤需求，可以根据应用和客户需求进行专项定制。

抛光液深层过滤滤芯

抛光液深层过滤滤芯利用独特的卷绕设计，能够对CMP的slurry精准过滤，高效拦截大颗粒，放行有效颗粒。由外到内的梯度结构，增加了纳污空间，延长滤芯使用寿命。

超高纳污量过滤滤芯

超高纳污量过滤滤芯采用多层纳米纤维材料，在合理的梯度结构设计下，具备高纳污能力。由粗到细的渐变孔径多级截留的特性，使滤芯具有更强的纳污能力，能够有效改善表面快速堵塞问题，大幅度延长了滤芯的使用寿命。过滤精度：0.5-90μm的精度范围，能够满足各种不同过滤精度的要求，适用范围广非常适用于高悬浮颗粒、胶体类物质、高粘度液体的过滤。

FFU风机过滤机组

通过与高效/超高效板式过滤器配合从循环空气中去除有害颗粒，为半导体和平板显示行业的洁净室和实验室提供净化空气。与洁净室送风天花系统不同，FFU可产生正压，从而降低潜在天花旁通泄露的风险。

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