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高精密的生产设备和产品工艺往往要求较高洁净度的空气环境和高纯度的水来保证设备高效稳定的运行及产品的合格率，微电子工业正是集中各类先进生产技术的突出代表。

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化学过滤圆筒

滤料装载量多、接触面积大、高效率、阻力低等优点。圆筒式化学过滤器由多个单独的金属圆筒组成并安装固定至一个金属框架上，圆筒上设计的凸扣与框架上的孔洞能较好地结合，保障密封紧密。

4V型无隔板化学过滤器

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箱式化学过滤器

可选用不同类型的滤料，对外界环境进入洁净室内空气所含的有机污染气体、酸性污染气体、碱性污染气体有很好的过滤性能，初始效率可达到90%以上。

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