平板显示 - 气体过滤的解决方案

平板显示器市场竞争激烈，技术多样。针对于此，制造商致力于开发更高分辨率的显示器、新的制造技术和更具成本效益的生产工艺。涉及到环境空气，工艺制程气以及液体制程的污染控制要求比以往更高。高等级制程需要将越来越小的污染物控制在更微小的浓度水平。在关键工艺步骤中，大面积面板上积累灰尘颗粒的可能性非常高，所以需要的送风量和循环风量很大，来提高空气洁净度，从而控制产品质量。